ナビゲーションをスキップ

ロボット

本文

SJシリーズ SJ80C/SJ120C

大型ガラス基板搬送用ロボット

SJ80
SJ120

●7世代〜9世代基板に対応するラインナップ

  • 7世代対応のSJ80C、8、9世代対応のSJ120Cとラインナップ

●クラス最高の旋回速度と前後軸速度

  • どのサイズでも短いサイクルタイムを実現

●上下軸に独自のリンク構造を採用

  • たわみ・振動を抑える高剛性構造
  • ベルトレス構造で高い信頼性・安全性を確保

●可動部配線をアーム内に完全収納

  • ミクロンオーダーの埃の発生を防ぎ、見た目もスッキリ