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ニュースリリース

2018年7月31日

DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置『SPS-2020』を市場投入

1.市場の動向

金属製品の長寿命化・性能向上などを狙いに、幅広い産業分野でコーティング加工が行なわれている。

特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の需要は、耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から、アルミ切削用ドリルなどの工具や、プラスチックやガラスレンズ、アルミ部品向けの金型、クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ、年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大し、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。

今般、不二越は、高品質かつ高速なDLC成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発、市場投入する。

2.「SPS-2020」の特長

(1) ハイブリッド成膜により成膜品質を向上

真空中で、イオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により、硬さや膜厚などの成膜品質が 向上した。

(2) 高速DLC成膜

大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ、生産効率を改善する。

(3) 安定した成膜品質

当社独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え、安定した成膜品質を確保する。

3.狙いの市場
航 空 機 分 野 アルミ部品切削用工具や、
高速回転に対応する軸受など
自 動 車 分 野 低摩擦性で燃費を改善する摺動部品、
ハイブリッドモーター部品など
産業機械分野 ロボット部品、動力伝達部品など
  その他、医療分野や光学分野など
4.仕様
成膜有効範囲 Ø500 × 高さ 500mm
処理可能重量 200kg
寸      法 幅5,000 × 奥行4,500 × 高さ3,000mm
成膜可能膜種 DLC, TiN, AlCrN, TiAIN他
5.発売予定
(1) 発 売 日 2018年8月
(2) 価   格 120百万円(標準本体価格/税抜)
(3) 販売目標 6台/年
6.新商品の問い合わせ先

サーモテック事業部 企画部 TEL:076-471-2981

以上
問い合わせ先 (株)不二越 経営企画部
TEL:03-5568-5210
FAX:03-5568-5215
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