株式会社不二越

コーティング加工は、金属製品の長寿命化・性能向上などを目的に、幅広い産業で活用されている。近年では特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン物質膜であるダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜が、その高耐摩耗性、低摩擦性などから、アルミ切削用ドリルや、半導体・紡績機械、金型、自動車部品、プラスチック、ガラスレンズなどに幅広く用いられている。そのため、ＤＬＣ成膜装置の高品質化・高速化のニーズが一段と高まっている。

当社は、1980 年代に主に工具のコーティングを開始し、以来、自社でコーティング装置を開発・製造してきた。今般、これまで培ってきた幅広いコーティング技術を活かし、高速、かつ細穴内面の成膜も可能な新型ＤＬＣコーティング装置「ＳＭＶＰ-１０２０」を開発、市場投入する。

• 半導体分野：半導体製造装置のバルブ、継手、パイプ内面などの耐腐食化、耐摩耗化
• 紡 績 分 野：紡績機械のノズル内面の耐摩耗化
• 金 型 分 野：金型の耐摩耗化、耐疑着化

ＳＭＶＰ-１０２０は、マイクロ波を利用したコーティング技術であるＭＶＰ法（Microwave sheath-voltage combination Plasma)を採用することで、高密度プラズマによるＤＬＣ膜の高速外面コーティングを実現し、さらに、細穴内面へのコーティングも可能とした。

ＭＶＰ法による高密度プラズマにより、外面コーティングでは150μｍ/hr の超高速成膜を実現。標準的な アーク法やスパッタ法による従来機と比較して、成膜速度が30 倍から最大150 倍程度まで向上する。

従来の技術では困難であった細穴内面のコーティングを実現し、φ30mm×500Ｌ�o やφ3mm×100Ｌ�oなどの小径穴内部への成膜品質を確保する。

当社従来機より処理時間を大幅に短縮し、処理膜の切替えも容易なため、少量・多品種の処理に柔軟に対応。また、コンパクトな設計で、２台設置し交互運転することで生産効率がさらに向上。