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ハイブリッドイオンプレーティング装置 SPS-2020

仕様

型式 SPS-2020
成膜有効範囲 Ø500 × 500h
処理量 200kg (N.C.)
寸法※1 5000(W) × 4500(L) × 3000(H) mm
重量※2 4.0 ton
電源 3Ø 200V 50/60Hz 200kVA
冷却水 20°C以下の上水 0.1MPa 最大30L/min.
使用ガス※3 Ar、C2H2、N2、LN2、Air
成膜可能膜種※3 DLC、TiN、CrN、TiAlN 等
※1 標準配置図状態での寸法です。
※2 本体、制御盤、電源盤、ポンプ等の総重量です。
※3 その他オプション、膜種等についてはご相談ください。

成膜可能膜種

膜種 標準膜圧
(µm)
膜硬度
(HV)
摩擦係数 耐熱温度
(°C)
特徴 主な用途
DLC-S 0.5〜3 300〜1500 0.1 300 低摩擦係数
耐摩耗性
切削工具
金型
摺動部品
DLC-H 0.5〜1.5 1500〜3000
Me-DLC 0.5〜1.5 500〜1500
TiN 2〜4 2000〜2800 0.6 400 耐摩耗性
広い適用性
切削工具
金型
CrN 2〜4 1100〜2000 0.5 700 耐熱性
非凝着性
金型
摺動部品
TiAlN 2〜4 2200〜3000 0.7 850 耐摩耗性
耐熱性
切削工具

配置図