不二越 / MVP搭載DLCコーティング装置 SMVP-1020

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MVP法*による高密度プラズマで細穴の内面まで
コーティング
従来の技術では困難であった細穴内面のコーティングを実現し、Ø30mm×500Lmm やØ3mm×100Lmmなどの小径穴内部への成膜品質を確保する。
＊ＭＶＰ（Microwave-sheath Voltage combination Plasma）とは、
マイクロ波を利用した成膜技術です。
コンパクトながら高速外面コーティングで
従来と変わらない量産性能
MVP法による高密度プラズマにより、外面コーティングでは最大150µm/hの超高速成膜を実現。
標準的なアーク法やスパッタ法による従来機と比較して、成膜速度が30 倍から最大150 倍程度まで向上。
少数、多品種にも対応
当社従来機より処理時間を大幅に短縮し、処理条件の切替えも容易なため、少量・多品種の処理に柔軟に対応。
また、コンパクトな設計で、２台設置し交互運転することで生産効率がさらに向上。

内面コーティングの成膜事例

配管、継手・バルブ、ノズルなどの内面コーティング、プランジャガイド
軸受外輪内面、直動アクチュエータのオネジ・メネジ、オイルホール粉末成型金型の内面コーティング、射出成型機用ブッシュなど

SUSパイプ内面チューブ継手

内面成膜領域 MVP装置のDLC可能領域