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ロボット

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SCシリーズ SC400LC

超大型FPDガラス基板搬送用クリーンロボット

SHCシリーズ SH200C

●6軸多関節構造でフレキシブルな搬送

  • 縦置きカセットからの基板取り出しや、傾斜・反転など姿勢変換を伴うあらゆる搬送に適用可能

●余裕の可搬能力を持つロングリーチモデル

  • G10基板を取り回しできるアーム長、ストローク最大リーチ3.6m、上下ストローク4.8m

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PDF  ・SC400LC (2ページ/467KB)