株式会社不二越

コーティング加工は、金属製品の長寿命化・性能向上などを目的に、幅広い産業分野で活用されている。

とくに、炭素を主成分とする非晶質のカーボン物質膜であるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は、耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性に優れ、アルミ切削用ドリルなどの工具や、プラスチックやガラスレンズ、アルミ部品向けの金属、クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ、市場規模は年10％超の拡大が進み、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。

ハイブリッドイオンプレーティング装置SPS-2020は、イオンビームで成膜物質を真空中にたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して膜を生成するPCVD法を融合したハイブリッド成膜技術を用いており、硬さや厚みなど成膜の品質向上に成功。

大電流のHCD（ホローカソード放電）式のプラズマガンを2基搭載し、高密度のイオンビームを照射することでイオン化率を上昇させ、従来機比約1.5倍の成膜速度を実現した。

また、独自のプラズマ制御技術と機械構造の採用で、均一な厚みで安定した成膜ができる。

今後も、低摩擦・耐摩耗膜の普及をはかり、拡大するニーズに対応すべく、従来型の合金膜成膜ソフトのラインナップと装置バリエーションの拡充をすすめていく。