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DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置『SPS-2020』を市場投入
１．市場の動向
金属製品の長寿命化・性能向上などを狙いに、幅広い産業分野でコーティング加工が行なわれている。
特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の需要は、耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から、アルミ切削用ドリルなどの工具や、プラスチックやガラスレンズ、アルミ部品向けの金型、クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ、年率１０％を超えるスピードで市場規模が拡大し、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。
今般、不二越は、高品質かつ高速なDLC成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発、市場投入する。
２．「SPS-2020」の特長
(1) ハイブリッド成膜により成膜品質を向上
真空中で、イオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により、硬さや膜厚などの成膜品質が 向上した。
(2) 高速DLC成膜
大電流のHCD式プラズマガンを２基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約１.５倍まで向上させ、生産効率を改善する。
(3) 安定した成膜品質
当社独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え、安定した成膜品質を確保する。
３．狙いの市場
| 航 空 機 分 野 | ：アルミ部品切削用工具や、高速回転に対応する軸受など |
| 自 動 車 分 野 | ：低摩擦性で燃費を改善する摺動部品、ハイブリッドモーター部品など |
| 産業機械分野 | ：ロボット部品、動力伝達部品など |
| その他、医療分野や光学分野など | |
４．仕様
| 成膜有効範囲 | ：Ø500 × 高さ 500mm |
| 処理可能重量 | ：200kg |
| 寸 法 | ：幅5,000 × 奥行4,500 × 高さ3,000mm |
| 成膜可能膜種 | ：DLC, TiN, AlCrN, TiAIN他 |
５．発売予定
| (1) 発 売 日 | ：2018年8月 |
|---|---|
| (2) 価 格 | ：120百万円（標準本体価格／税抜） |
| (3) 販売目標 | ：6台／年 |
６．新商品の問い合わせ先
サーモテック事業部 企画部 TEL：076-471-2981
以上
| 問い合わせ先 | (株)不二越 経営企画部 TEL:03-5568-5210 FAX:03-5568-5215 インターネットからのお問い合わせ |
