ツインHCDガンが高密度イオンビームを生成、効率的なイオンクリーニングとターゲット付近のイオン化率を上昇させることにより、DLC成膜速度が向上。
イオンビームによるスパッタとP-CVDを融合したハイブリッド成膜により膜質をコントロール。
独自のプラズマ制御とターゲットの最適配置で、バラツキの少ない安定品質を実現。
TiNやCrN、TiAlNなどの硬質膜にも対応。
Copyright © 2025 Nachi-fujikoshi corp. All Rights Reserved.
Copyright © 2025 Nachi-fujikoshi corp. All Rights Reserved.