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ロボット

ガラス基板搬送用ロボット

■SCシリーズ SC400LC

● 6軸多関節構造でフレキシブルな搬送

  • 縦置きカセットからの基板取り出しや、傾斜・反転など姿勢変換を伴うあらゆる搬送に適用可能

● 余裕の可搬能力を持つロングリーチモデル

  • G10基板を取り回しできるアーム長、ストローク最大リーチ3.6m、上下ストローク4.8m